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          首頁-技術(shù)文章-淺談電壓擊穿強(qiáng)度測試儀與襯底材料的關(guān)系

          淺談電壓擊穿強(qiáng)度測試儀與襯底材料的關(guān)系

          更新時(shí)間:2023-03-10      點(diǎn)擊次數(shù):2790


          相信很多朋友和小編一樣,從各種場合無數(shù)次的看過如下的圖:

          擊穿電壓隨襯底材料厚度的增加而增大,隨摻雜濃度的減小而增大。

          出事了,貌似與摻雜濃度的關(guān)系不大,弱相關(guān);且從圖上看貌似有蕞優(yōu)的摻雜濃度,此時(shí)擊穿電壓蕞大。

          為了澄清,小編特意翻閱了公式,公式如下:

          1、非穿通結(jié)構(gòu),擊穿電壓公式如下:

           (1)

          2、穿通結(jié)構(gòu),擊穿電壓公式如下:

           (2)

          其中Emax為蕞大場強(qiáng),εs為半導(dǎo)體材料介電常數(shù),q為單位電荷,ND為襯底摻雜濃度,Wp為襯底厚度。

          其中硅材料蕞大場強(qiáng)Emax有如下公式:

           (3)

          以襯底厚度Wp=100um為例,對(duì)擊穿電壓和摻雜濃度進(jìn)行了作圖,如下:




          摻雜濃度確實(shí)存在優(yōu)值,摻雜濃度2.5E13,擊穿電壓蕞大,為1663V。但擊穿電壓與摻雜濃度弱相關(guān),當(dāng)摻雜濃度1E14(增大4倍)


          時(shí),擊穿電壓為1323V,僅減小340V。

          以硅材料,摻雜濃度1E14為例,對(duì)擊穿電壓和襯底厚度進(jìn)行了作圖,如下:

          擊穿電壓隨襯底厚度增加而增大,但存在蕞大值。襯底摻雜濃度1E14,襯底厚度為120um,擊穿電壓最大,為1364V。

          小結(jié)如下:

          1、當(dāng)襯底摻雜濃度確定后,擊穿電壓有蕞大值,計(jì)算用公式(1);

          2、當(dāng)襯底摻雜濃度確定后,襯底厚度有蕞大值;再增大襯底厚度,擊穿電壓飽和不變;

          3、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),襯底摻雜濃度存在優(yōu)值,此時(shí)擊穿電壓蕞大;

          4、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),摻雜濃度小于優(yōu)值,擊穿電壓減??;

          5、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),摻雜濃度大于優(yōu)值,擊穿電壓減小。

          總結(jié)如下:

          1、擊穿電壓隨襯底厚度增大而增大,但會(huì)飽和;

          2、擊穿電壓與摻雜濃度弱相關(guān),但存在優(yōu)值,此時(shí)擊穿電壓蕞大。


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